(1. 上海理工大学，上海200093；
　　2. 上海波汇通信科技有限公司，上海201204)
　　摘要：作为一种具有较高横向分辨率和纵向分辨率的显微仪器，激光共聚焦扫描显微镜在各个领域有较大发展。文中介绍了激光共聚焦光学扫描的非线性问题，通过选取合适的振镜以及驱动控制系统消除非线性，最后完成扫描驱动系统的软件设计。
　　关键词：单片机；共聚焦；扫描振镜