【摘 要】
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介绍了一种精密气控系统的设计与实现方案,该系统通过智能算法将气源控制为恒定压力、流量的输出气体,满足半导体行业需求。首先,采用AMESim提供的元件设计库构建了气体控制
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室
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介绍了一种精密气控系统的设计与实现方案,该系统通过智能算法将气源控制为恒定压力、流量的输出气体,满足半导体行业需求。首先,采用AMESim提供的元件设计库构建了气体控制回路动态仿真模型,调节回路内关键节点的气体压力和流量特性参数进行时域分析,以验证模型的正确性。其次,通过CompactPCI总线机箱执行实时采集和闭环控制,并利用QWT库实现人机交互图形界面。实验结果表明,该系统具有便携性、可配置性、实时性、高精度等特点,适用于低流量、高稳态氮气供给应用场景。
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