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日本的半导体工业，以优异的半导体生产技术和其创造能力，在世界上取得了惊人的发展。
半导体工艺中使用的特种气体
【摘 要】
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日本的半导体工业，以优异的半导体生产技术和其创造能力，在世界上取得了惊人的发展。
【机 构】
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不详,峨嵋半导体材料厂,光明所
【出 处】
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低温与特气
【发表日期】
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1984年2期
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