基于严格耦合波理论的多层介质膜光栅衍射特性分析

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【摘要】

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基于严格耦合波理论建立了多层介质膜光栅的衍射机理模型,给出了TE波自准直条件下多层介质膜光栅衍射效率的表达式.以-1级衍射效率为评价函数,分析了表面浮雕结构分别为HfO2

【作者】

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Kong Wei-Jin 云茂金 Sun Xin 刘均海 F

【出处】

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物理学报

【发表日期】

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2004年期

【关键词】

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衍射效率多层介质膜光栅严格耦合波理论圹

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基于严格耦合波理论建立了多层介质膜光栅的衍射机理模型,给出了TE波自准直条件下多层介质膜光栅衍射效率的表达式.以-1级衍射效率为评价函数,分析了表面浮雕结构分别为HfO2和SiO2材料的介质膜光栅获得衍射效率优于96%的结构参数.数值计算表明,顶层材料为HfO2的介质膜光栅具有更宽的结构选择范围.最后分析了介质膜光栅的制备容差和允许的入射角度范围.

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