ESD robustness studies on the double snapback characteristics of an LDMOS with an embedded SCR

来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xiaojing795130
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Criterion for the second snapback of an LDMOS with an embedded SCR is given based on parasitic parameter analysis.According to this criterion,three typical structures are compared by numerical simulation and structural parameters which influence the second snapback are also analyzed to optimize the ESD characteristics. Experimental data showed that,as the second snapback voltage decreased from 25.4 to 8.1 V,the discharge ability of the optimized structure increased from 0.57 to 3.1 A. Criterion for the second snapback of an LDMOS with an embedded SCR is given based on parasitic parameter analysis. Accredited to this criterion, Three typical structures are compared by numerical simulation and structural parameters which influence the second snapback are also analyzed to optimize the ESD characteristics. Experimental data showed that, as the second snapback voltage decreased from 25.4 to 8.1 V, the discharge ability of the optimized structure increased from 0.57 to 3.1 A.
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