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为了研究Eu^3+,Li^+共掺杂的ZnO薄膜结构与发光性质,采用脉冲激光沉积方法在P型单晶Si(111)衬底上制备了Eu^3+,Li^+共掺杂的ZnO薄膜,其中,Eu^3+作为发光中心,而Li^+作为低价电荷的补偿离子和发光敏化剂。分别对样品进行了x射线衍射谱测试和光致发光谱分析。得出的数据中x射线衍射谱显示,Eu^3+,Li^+共掺杂的ZnO薄膜具有c轴择优取向,x射线衍射谱中除ZnO晶向以外没有出现其它结晶峰;Eu^3+,Li^+共掺杂的ZnO薄膜的光致发光谱与ZnO纯晶体薄膜的发射光谱基本相似,但