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建立了一种新型纯数字式加速度传感器的理论模型，通过检测吸合时间差检测加速度．该传感器不存在吸合电压的限制，避免了寄生电容的影响，其芯片面积远小于传统电容式加速度传感器；由于输出时间信号，可采用简单的纯数字接口电路检测．理论分析表明，质量块在两个检测电极之间的吸合时间差△T与加速度成正比关系，通过检测△T的变化即可检测加速度，其灵敏度、非线性与传统电容式加速度传感器相当．设计了一个悬臂梁-质量块结构的加速度传感器，芯片有效面积仅为0．03mm^2，模拟结果显示，工作电压为8V，加速度为1gn时，吸合时间的变