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设计了一种基于虚拟仪器的微机电系统动态特性测试仪，主要用于微机电系统的频谱测试和静态特性测试。该仪器采用PCI总线24位高性能数据采集卡，使用虚拟仪器技术进行设计和开发，采用扫频方法给待测系统输入一系列由低频到高频的正弦激励信号，进而分析出该系统响应和激励之间的关系。其频率范围为0．01Hz～10kHz，并能在关键频率附近增加测试的频率点以提高精度。试验表明，该仪器的最大幅值误差小于0．2dB，最大相位误差小于0．7°，同时具有较高的可靠性和扩展性。该仪器自动化程度高，并具有良好的人机交互特性，