用分级方法提高聚酯型光刻胶的质量

来源 :华南师范大学学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户:ej17255
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用熔融缩聚法含成的聚酯型光刻胶有较宽的分子量分布.为了获得较好的抗蚀性,需要提高样品的分子量.但此时常因增加了分子量的分布宽度而影响了样品的分辨率.用溶解一分级沉淀的方法对样品进行处理,除去样品中的高分子量和低分子量部份,所得到的中间级分的分辨率比原样品有明显提高.若仅将样品除去小分子量部份,对光敏性和抗蚀性亦有明显提高.文中还讨论了分级后样品分辨率提高的原因.
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