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<正> 一、前言在汽车上许多总成和零部件的非电量电测中,都要用到小型真空压力传感器,例如用于发动机进气管各处的真空和压力动态测量,用于供油系统的供油压力波动过程,用于水压测量和油压测量等。真空压力传感器还可用于测量塑料模和玻璃钢压铸模的塑铸过程的压力波动和压力分布等,真空压力传感器也可用于稳态压力和真空度的测量.在工业中的应用相当广泛。小直径压力传感器设计和制造成功使以前许多不能进行测量的部位成为可行。二、传感器设计图1示出真空压力传感器敏感原件膜片体结构图,受力敏感原件——膜片与膜片支撑体做