【摘 要】
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采用溶胶-凝胶法在玻璃衬底上制备了N掺杂Mg_xZn_（1-x）O薄膜。通过X射线衍射（XRD）、扫描电子显微镜（SEM）、透射光谱、光致发光（PL）谱对N掺杂Mg_xZn_（1-x）O薄膜样品的晶体结构、表面形貌
【基金项目】
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黑龙江省自然科学基金（E201341）, 牡丹江师范学院青年项目基金（QN201622,QN201605）
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采用溶胶-凝胶法在玻璃衬底上制备了N掺杂Mg_xZn_（1-x）O薄膜。通过X射线衍射（XRD）、扫描电子显微镜（SEM）、透射光谱、光致发光（PL）谱对N掺杂Mg_xZn_（1-x）O薄膜样品的晶体结构、表面形貌和光学性能进行了研究。XRD结果表明所有样品均形成了Mg Zn O合金薄膜,没有观察到其它氧化物的衍射峰。样品的结晶质量越差,样品的表面形貌越不规则,但样品在可见光的透射率越强,甚至达到了95%。样品的禁带宽度随Mg含量的增加而增加,随N含量的增加而减小。所有样品的光致发光谱均观察到强的400
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