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TaNFilm薄膜技术采用自钝化氮化钽，能制造在高温下具有长期稳定性和准确性的电阻元件。美国TT电子公司IRC先进薄膜分公司开发的这项技术可以制造在电信、航天和联网等微波应用中性能远远高于其他钝化膜技术的薄膜电路和混合衬底。
TaN微波薄膜技术改善电阻元件
【摘 要】
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TaNFilm薄膜技术采用自钝化氮化钽，能制造在高温下具有长期稳定性和准确性的电阻元件。美国TT电子公司IRC先进薄膜分公司开发的这项技术可以制造在电信、航天和联网等微波应用
【出 处】
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今日电子
【发表日期】
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2004年1期
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