静态膨胀法真空标准装置的体积原位测定

来源 :真空科学与技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:petry1989
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在静态膨胀法中,起始压力在膨胀过程中的衰减率为初态与终态体积之比。在我们新研制的金属静态膨胀法真空标准装置中采用气体膨胀技术对体积比进行了原位精确测定。测量仪器为DPC7010石英规和两保满量程分别为133.3kPa和13.33kPa的电容薄膜规(CDG),为了降低测量仪器之间的差异给体积测定带来的不确定度,测量前将石英规和CDG的经对统一起来。这样,体积的测定主要取决于测量仪器的线性,与它们测量
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