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开发了一种高精度三维坐标测量机，它包括一套激光测头系统和高性能的伺服机构，具有精确控制、定位优化、三级减速近似、在线位置修正和光滑算法等功能．实验结果表明，在6 400mm×2 100mm×1 500mm的整个测量范围内，测量精度优于30μm；在区域范围内，测量精度优于8μm，采样速率超过1 000点／min．该测量系统的测量效率很高．另外，还可以用于测量软材料表面．