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期刊论文
硅光子的物理验证:挑战和解决方案
硅光子的物理验证:挑战和解决方案
来源 :中国集成电路 | 被引量 : 0次 | 上传用户:itfwfp
【摘 要】
:
在光学电路研究的早期,人们就设想过基于硅的光电子集成电路(IC),其包含各种各样的光学元件来产生、调制、操纵、检测和放大光。当时,该研究主要集中在III-V化合物半导体,例
【作 者】
:
OMAR EL-SEWEFY
【机 构】
:
不详
【出 处】
:
中国集成电路
【发表日期】
:
2019年8期
【关键词】
:
硅光子
DRC
物理验证
光子器件
形状匹配
参数提取
电路图
晶圆代工
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在光学电路研究的早期,人们就设想过基于硅的光电子集成电路(IC),其包含各种各样的光学元件来产生、调制、操纵、检测和放大光。当时,该研究主要集中在III-V化合物半导体,例如砷化镓(GaAS)和磷化铟(InP)。
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