新型NBL改善LDMOS器件的ESD性能

来源 :电子产品可靠性与环境试验 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wisled
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介绍了几种常见的N型埋藏层(NBL)静电放电(ESD)器件,阐述了NBL对ESD的影响,提出了新结构的NBL器件(Under-source NBL)。比较Under-source NBL器件和其它常用器件的优缺点,对比了它和传统器件的ESD测试数据;结果表明,Under-source NBL器件在横向扩散MOS(LDMOS)ESD保护电路中有着非常好的效果,可以在功能相当的情况下,大大节省器件的面积。
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