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光刻胶处理系统的国内外现状
光刻胶处理系统的国内外现状
来源 :电子工业专用设备 | 被引量 : 0次 | 上传用户:heheaixixi
【摘 要】
:
光刻胶处理技术及其在半导体器件和集成电路制造中的应用是过去十年半导体微细加工领域中最引人注目的研究课题之一。本文综述了光刻胶处理系统的基本原理、特点和处理技术,
【作 者】
:
管慧
田红
【机 构】
:
机电部第四十七研究所,机电部第四十七研究所
【出 处】
:
电子工业专用设备
【发表日期】
:
1992年2期
【关键词】
:
光刻胶处理
现状
微细加工
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光刻胶处理技术及其在半导体器件和集成电路制造中的应用是过去十年半导体微细加工领域中最引人注目的研究课题之一。本文综述了光刻胶处理系统的基本原理、特点和处理技术,重点介绍了系统的国内外研制现状,最后对系统的发展趋势也进行了探讨。
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