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一种用于固定薄膜溅射用村底的装置，包括掩膜、掩膜压板、磁体和驱动单元。具有图案的掩膜位于衬底下方，以便在衬底上形成图案。掩膜压板位于衬底之上并以预定的压力朝向衬底背面运动并与之接触。
专利名称：固定薄膜溅射用衬底的装置及用此装置来固定衬底的方法
【摘 要】
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一种用于固定薄膜溅射用村底的装置，包括掩膜、掩膜压板、磁体和驱动单元。具有图案的掩膜位于衬底下方，以便在衬底上形成图案。掩膜压板位于衬底之上并以预定的压力朝向衬底背
【机 构】
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韩国三星日本电气移动显示株式会社
【出 处】
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表面技术
【发表日期】
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2005年4期
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