【摘 要】
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为了精确校准较小漏率真空漏孔，研制了固定流导法真空漏孔校准装置。在漏孔校准过程中，通过调节稳压室中的压力，很容易使标准气体流量与漏孔漏率非常接近或相等，从而避免四极质谱
【机 构】
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兰州物理研究所,西安航天计量测试研究所
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为了精确校准较小漏率真空漏孔，研制了固定流导法真空漏孔校准装置。在漏孔校准过程中，通过调节稳压室中的压力，很容易使标准气体流量与漏孔漏率非常接近或相等，从而避免四极质谱计的非线性影响。通过实验测试，校准装置的极限真空度为3．7×10^-6 Pa，漏率校准范围为10^-5 Pa·m^3／s-10^-11 Pa·m^3／s，合成标准不确定度为1．4％-4．2％。
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