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硅场发射三极管的研究
硅场发射三极管的研究
来源 :光电子技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:barbaraxj
【摘 要】
:
简单介绍了硅场发射三极管的制造,三极管的I-V特性,在实验和理论上研究了栅门高度对发射电流的影响。
【作 者】
:
陈盘敖
陈群霞
【机 构】
:
南京电子器件研究所
【出 处】
:
光电子技术
【发表日期】
:
1996年4期
【关键词】
:
场发射
真空
场发射三极管
VFET
field emission
vacuum field emission
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简单介绍了硅场发射三极管的制造,三极管的I-V特性,在实验和理论上研究了栅门高度对发射电流的影响。
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