反应溅射DyFeCo薄膜的界面特征及其对磁光特性的影响

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采用RF磁控溅射方法制备了一系列AlN/DyFeCo/glass多层磁光薄膜。扫描电镜分析表明,随着溅射DyFeCo薄膜时氩气压的增大,AlN/DyFeCo界面的粗糙程度增大。进一步的研究表明,界面粗糙程度的改变对磁光多层膜的磁光特性影响很大,界面越粗糙,矫顽力从越大,反射率R越低,而克尔角θk首先随表面粗糙程度的增大而增大,到达一极大值然后再随表面粗糙程度的增大而减小。
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