二维零位光栅及其在纳米计量技术中的应用

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本文提出了一种用二维零位光栅来实现超高分辨率的绝对测量方法。利用二维零位光栅作为整个系统的零点,可消除SPM仪器的累计误差。本文对二维零位原子光栅的原理,评价指标,评价指标极限的计算,作了详细介绍。本文给出了计算机仿真结果。对二维零位光栅的应用进行了展望 In this paper, an absolute measurement method with ultra-high resolution using a two-dimensional zero-position grating is proposed. The use of two-dimensional zero grating as the zero point of the entire system eliminates the cumulative error of SPM instruments. In this paper, the principle, evaluation index and evaluation index limit of two-dimensional zero atomic grating are introduced in detail. This article gives the computer simulation results. The application of two-dimensional zero grating is prospected
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