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论述了提取混合信号集成电路衬底电路模型的格林函数法.在分析了两种常用集成电路村底模型的基础上,阐述了应用格林函数提取混合信号集成电路衬底电路模型的原理,推导出了衬底电路模型中电阻参数提取所对应的格林函数形式,得出了格林函数法计算衬底参数的公式.该方法可用于衬底模型中节点间电阻值或阻抗值的计算,其计算效率较高.