SEM测量微细工件表面粗糙度的一种方法

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介绍一种用扫描电子显微镜(SEM)来测量微细工件表面粗糙度的方法,可在微电子元件如TO-5封装的焊线顶上应用.操作时,电子显微镜发出电子束对样品表面进行扫描,而反映表面波纹状况的二次电子强度可用底片摄录;照片上的波纹曲线再用一自制的数码转换器转成数码信号,输入微型计算机处理后可求得粗糙度.用此法求得的结果与传统的表面波纹测量法极为吻合.
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