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本文提出了一种基于微光机电系统（MOEMS）的新型可编程相位光栅技术，并对其工作原理和理论特性进行了分析和研究，同时给出部分数值仿真结果，并得出了一些重要的结论。
微型可编程相位光栅的理论特性研究
【摘 要】
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本文提出了一种基于微光机电系统（MOEMS）的新型可编程相位光栅技术，并对其工作原理和理论特性进行了分析和研究，同时给出部分数值仿真结果，并得出了一些重要的结论。
【机 构】
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清华大学精密仪器系
【出 处】
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仪器仪表学报
【发表日期】
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2002年1期
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