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采用离子柬多靶溅射沉积技术（IBS），在Nd修饰的碳载体上制备了PtRu／Nd／C纳米合金薄膜作为直接甲醇燃料电池（DMFC）阳极催化剂，并对PtRu／Nd／C薄膜催化剂进行了不同条件的氧化处理。应用XRD，XPS，AFM等分析手段研究了薄膜表面的成分、化学状态、结构及表面形貌，并用循环伏安法（CV）测试了薄膜催化剂对甲醇的催化氧化性能。结果表明，由于溅射产生的Pt^＋，Ru^＋和稀土Nd膜层之间的相互作用，使PtRu／Nd薄膜的表面形貌发生粗化并抑制了PtRu薄膜表层的择优生长，增大了PtRu／Nd／C