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采用自组装单层膜技术，以三氯十八烷基硅烷（octadecyl—trichloro—silane，OTS）为模版，在玻璃基片上成功制备了钛酸锶晶态薄膜。改性基板的亲水性测定与金相显微镜测试表明，紫外光照射使基板由疏水转变为亲水，OTS单分子膜对薄膜的沉积具有诱导作用；X射线衍射（XRD）与扫描电镜（SEM）表征显示，制备成功的钛酸锶薄膜结晶良好，样品表面均匀，在垂直基板表面方向上呈花状生长：EDS能谱测试为钛酸锶薄膜的化学组成提供了有力的证据；同时探讨了自组装单层膜和钛酸锶薄膜的形成机理。