【摘 要】
：
本文提出了一种适于制作孤立图形的新的移相掩模方法,这种新的移相掩模仅由移相器图形组成。移相器的边缘线(PEL)起遮光掩蔽作用。光强计算表明:在相同的照明条件下,由移相器
论文部分内容阅读
本文提出了一种适于制作孤立图形的新的移相掩模方法,这种新的移相掩模仅由移相器图形组成。移相器的边缘线(PEL)起遮光掩蔽作用。光强计算表明:在相同的照明条件下,由移相器边缘线得到暗场,其光强分布比铬掩模的更为陡峭。采用移相器边缘线掩模及i线步进光刻机(镜头数值孔径NA=0.42,光相干因子σ=0.5),就可制作出线条(正性抗蚀剂)和间隔(负性抗蚀剂)尺寸≤0.2μm的抗蚀剂图形,图形线宽可通过曝光量进行控制。用LMR-UV负性抗蚀剂,在1.5μm宽的聚焦范围内,可制作出0.15μm宽的窗口图形。对特征尺寸
其他文献
1用λ/4波片和检偏器鉴定椭圆偏振光存在的缺点鉴定椭圆偏振光常用的方法是先用检偏器鉴定椭圆偏振光长短轴的方位,再用λ/4波片使之转化成线偏振光,然后用检偏器找到消光位
本文主要介绍采用脊波导实现波导-微带过渡的低噪声放大器的结构和脊波导变换器的设计过程。放大器基片直接安装在波导管内,脊波导变换器采用具有一定精度的近似公式进行计算
2005年2月22日．福特汽车(中国)公司总部正式迁往上海。
国内首例信用卡“盗码案”警示录○刘翔信用卡，是当今世界上广泛流行的一种先进的信用支付工具。当你在逛商场购物或上饭店用餐后，结账时不用掏出现金，只需潇洒地取出信用卡，让服
本文以Anderson模型为基础,采用肖克莱漂移-扩散模型对HBT进行分析,将异质结中存在的热电子效应,采用扩散系数等效法引入器件的分析模型中,并在此基础上建立了一套对HBT性能
问 :杨处长 ,您来驻马店快５年了 ,对这５年的公安工作应如何评价？杨 :我１９８６年从部队转业从警 ,１９９５年８月调来驻马店。５年来 ,在地委、行署的领导下 ,在上级公安机关的指导下 ,在社会各界的
营口市鲅鱼圈区电信局移动公司38岁的女话务员张岩有一个幸福的家。儿子在区实验中学读初二，品学兼优，被公认是一棵上大学的好苗子。丈夫刘飞是滨海派出所的副所长。也就是说，张
本文介绍用气垫转盘验证转动定律、测量刚体的转动惯量.利用最小二乘法对实验数据进行一元线性回归,求得的转动惯量与理论值进行了比较.并对实验数据处理中出现摩擦力矩为负