【摘 要】
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蓝宝石片高温翘曲且半透明,本文利用Comsol Multiphysics流体与传热模块耦合的有限元方法对本公司和另一常见MOCVD反应腔体和加热器进行高温环境的稳态建模,考虑了翘曲导致的
【机 构】
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华中科技大学机械科学与工程学院,广东昭信半导体装备制造有限公司
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蓝宝石片高温翘曲且半透明,本文利用Comsol Multiphysics流体与传热模块耦合的有限元方法对本公司和另一常见MOCVD反应腔体和加热器进行高温环境的稳态建模,考虑了翘曲导致的导热不均匀以及耦合了参与介质的辐射。研究了蓝宝石片表面的温度稳态情况,评估了不同腔体和加热器结构温度均匀性在±1K以内的均温效果。
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