【摘 要】
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采用紫外线光刻工艺,将Fe-Ni和Fe-Ni-W合金电铸成粉末注射成型用微型齿轮模具.研究电镀过程中2种合金的动力学和活化能,以确定最佳的工艺条件.电沉积Fe-Ni合金中的Fe含量随着
【机 构】
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Heat Treatment & Plating Technology Center, Korea Institute of Industrial Technology, Inchon, KoreaA
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采用紫外线光刻工艺,将Fe-Ni和Fe-Ni-W合金电铸成粉末注射成型用微型齿轮模具.研究电镀过程中2种合金的动力学和活化能,以确定最佳的工艺条件.电沉积Fe-Ni合金中的Fe含量随着转盘速度的加快和温度的降低而增加,从计算得到的Fe组份活化能可以看出,速率控制步骤是传质.在Fe-Ni电沉积物中,随着电流密度由2 A/dm2增加到6 A/dm2,Fe含量从58.33％增加到70.45％.在电流密度从1.5 A/dm2增加到5 A/dm2的过程中,Fe-Ni-W沉积物中Fe含量从59.32％增加到70.15％,而Ni含量从27.86％下降到17.07％,但W的含量保持在12.78％～12.82％的范围.通过电铸,采用紫外线光刻工艺制备了直径550 μm、高度400 μm用于微型齿轮模具的SU-8芯棒.随后,成功电铸成形了Fe-36Ni和Fe-20Ni-13W合金微型齿轮模具,其表面硬度分别为HV490和HV645.
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