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本文提出一种以全息衍射光栅为传感元件的光栅技术。文中给出了它的测量原理与特点，介绍了所开发的宽动态、微位移、高精度传感系统。动态范围６ｍｍ，分辨率０．１ｎｍ；稳定性连续工作４小时，示值变动量小于０．５％。
光栅技术在纳米测量中的应用
【摘 要】
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本文提出一种以全息衍射光栅为传感元件的光栅技术。文中给出了它的测量原理与特点，介绍了所开发的宽动态、微位移、高精度传感系统。动态范围６ｍｍ，分辨率０．１ｎｍ；稳定性连续工作４小时，示值变
【机 构】
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华中理工大学
【出 处】
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仪器仪表学报
【发表日期】
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1995年S1期
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