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冲击式微位移机构是利用压电陶瓷的冲击力使目标产生步进式微位移的一种微动机构,其特点是最小位移可达几纳米,具有实用的运动速度,运动范围不受限制,而且步距可从几纳米到几微米连续可调,使其可能在微米/纳米技术中得到广泛应用.本文提出一种由一对压电陶瓷驱动的新型冲击式微位移机构,介绍了该机构的工作原理,给出了它在扫描隧道显微镜中用于样品定位和成象的应用实例.