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借助于低温下标准样品的霍耳测量分析方法,测定了[111]晶向同[211]晶向(111)面上的杂质浓度分布,为制得径向上杂质浓度分布较均匀的材料指出了一条有效途径。
〈211〉方向InSb单晶横截面的均匀性研究
【摘 要】
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借助于低温下标准样品的霍耳测量分析方法,测定了[111]晶向同[211]晶向(111)面上的杂质浓度分布,为制得径向上杂质浓度分布较均匀的材料指出了一条有效途径。
【机 构】
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上海第二冶金专科学校
【出 处】
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上海金属.有色分册
【发表日期】
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1990年6期
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