【摘 要】
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介绍一种以MCS-51单片机为核心,利用β射线测厚传感器,集成函数运算放大器,V/F转换器等构成的智能化薄膜厚度测试仪的设计。其具有电路结构简单,价格低,性能稳定,测量精度高等特点。
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介绍一种以MCS-51单片机为核心,利用β射线测厚传感器,集成函数运算放大器,V/F转换器等构成的智能化薄膜厚度测试仪的设计。其具有电路结构简单,价格低,性能稳定,测量精度高等特点。
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