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介绍一种以ＭＣＳ－５１单片机为核心，利用β射线测厚传感器，集成函数运算放大器，Ｖ／Ｆ转换器等构成的智能化薄膜厚度测试仪的设计。其具有电路结构简单，价格低，性能稳定，测量精度高等特点。
智能化薄膜测厚仪的一种设计
【摘 要】
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介绍一种以ＭＣＳ－５１单片机为核心，利用β射线测厚传感器，集成函数运算放大器，Ｖ／Ｆ转换器等构成的智能化薄膜厚度测试仪的设计。其具有电路结构简单，价格低，性能稳定，测量精度高等特点。
【机 构】
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东南大学
【出 处】
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仪表技术
【发表日期】
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1998年1期
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