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报道了电共沉积制备ＧａＡｓ薄膜的原理与工艺。通过优化工艺参数，在不同的基片上成功地得到了成分接近化学计量比的ＧａＡｓ薄膜。
GaAs薄膜电沉积的机理与工艺研究
【摘 要】
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报道了电共沉积制备ＧａＡｓ薄膜的原理与工艺。通过优化工艺参数，在不同的基片上成功地得到了成分接近化学计量比的ＧａＡｓ薄膜。
【机 构】
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哈尔滨工业大学
【出 处】
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太阳能学报
【发表日期】
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1997年4期
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