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本文系统地研究了纳米粒子在硅芯片表面的各种附着力,诸如范德瓦耳斯力,塑性形变吸附力,毛细现象凝聚力,静电力和重力附加力,以及高速流体对它的拖动力和提拉力,并简单计算了在各种情况下这些力的大小.介绍了干法清除纳米污染物的几种新方法,如超临界流体清除法,高速气凝胶清除法,激光清除法,气相化学清除法和光化学清除法.