【摘 要】
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采用四极质谱仪,对大功率速调管烘烤排气过程中残余气体进行实时检测,分析烘烤排气过程中管内件及氧化物阴极的出气规律。结果表明:烘烤排气过程中主要出现三个出气高峰,依次
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采用四极质谱仪,对大功率速调管烘烤排气过程中残余气体进行实时检测,分析烘烤排气过程中管内件及氧化物阴极的出气规律。结果表明:烘烤排气过程中主要出现三个出气高峰,依次出现在烘烤排气温度30,75,325℃;过程中排除气体主要为H2O,并含有少量CO和H2;进入烘烤排气保温区后,出气量较小,且基本保持恒定;烘烤排气结束后,残余气体含量微少,均低于1.2×10-5 Pa,为速调管提供了较好的高真空环境。
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