【摘 要】
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微机电技术是指集微型传感器、微型执行器、信号处理和控制电路、接口电路、通信系统以及电源于一体的微机电系统(MEMS:Micro Electro Mechanical System).它将微电子、微米/
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微机电技术是指集微型传感器、微型执行器、信号处理和控制电路、接口电路、通信系统以及电源于一体的微机电系统(MEMS:Micro Electro Mechanical System).它将微电子、微米/纳米加工技术、精密机械、微纳米传感器、微纳米材料等技术相互融合,实现了微电子与机械融为一体的系统.其目标是把信息的获取、处理和执行集成在一起,组成具有多功能的微型系统,完成大尺寸机电系统所不能完成的任务;也可以嵌入大尺寸系统中,从而大幅度地提高系统的自动化、智能化和可靠性水平.
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