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<正> 多层膜形成了现代光学薄膜技术的主流。这种结构的膜层的设计和制备技术已经发展到了一个高级的阶段。但近来,人们对具有梯度折射率的光学薄膜引起了较大的兴趣。在这种膜系的设计方面取得了一定的进步,特别是采用Fourier变换方法。然而,在制造技术方面所取
采用电子回旋共振增强化学气相沉积方法制备传统及梯度光学薄膜
【摘 要】
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<正> 多层膜形成了现代光学薄膜技术的主流。这种结构的膜层的设计和制备技术已经发展到了一个高级的阶段。但近来,人们对具有梯度折射率的光学薄膜引起了较大的兴趣。在这种
【出 处】
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光机电信息
【发表日期】
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1999年4期
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