低气压、弱电离条件下氢气直流放电反应的模拟分析

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以等离子体放电理论为基础,依据电子密度连续性方程,电子通量方程,电子能密度连续性方程,以及电子能通量表达式,分别运用有限元法和有限时域差分法,针对氢气直流放电过程的21种碰撞反应类型进行模拟分析.确定了氢气放电所涉及的21种反应类型,在低气压、弱电离条件下仅有11种反应对过程的进行起到有效作用.所得模拟结果与实验测试结果一致.
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