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真空蒸发镀膜制备MIM隧道发光结的实验研究
真空蒸发镀膜制备MIM隧道发光结的实验研究
来源 :真空科学与技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:kingbottle
【摘 要】
:
采用真空蒸发镀膜方法制备了MIM隧道发光结。对MIM隧道发光结的制备工艺进行了分析,阐述了各膜层的制备特点,描述了所制备的MIM结构的发光特性,简单讨论了与发光相伴随的I-U特性曲线上的负阻
【作 者】
:
王茂祥
孙承体
【机 构】
:
东南大学物理系,东南大学电子工程系
【出 处】
:
真空科学与技术
【发表日期】
:
1998年5期
【关键词】
:
MIM结
真空蒸发镀膜
制备工艺
发光特性
Metal-insulator-metal junction
Vacuum-evaporation
Fabric
【基金项目】
:
国家自然科学基金
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采用真空蒸发镀膜方法制备了MIM隧道发光结。对MIM隧道发光结的制备工艺进行了分析,阐述了各膜层的制备特点,描述了所制备的MIM结构的发光特性,简单讨论了与发光相伴随的I-U特性曲线上的负阻现象。
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