【摘 要】
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光学自由曲面的波前像差复杂多样且非对称,当波前像差的峰谷值满足要求时,对应的光学调制传递函数未必满足要求.因此,必须获得主要的光学性能参数进行评价,但目前没有专门的
【机 构】
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天津大学微纳制造工程技术中心精密测试技术及仪器国家重点实验室,天津300072
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光学自由曲面的波前像差复杂多样且非对称,当波前像差的峰谷值满足要求时,对应的光学调制传递函数未必满足要求.因此,必须获得主要的光学性能参数进行评价,但目前没有专门的软件可实现光学性能参数之间的相互转化.基于傅里叶光学与相位重构理论,建立了光学性能基本指标评价体系.通过测量单一光学性能参数实现光学性能的多参数评价,降低了测量成本,提高了测量效率,并通过仿真与实验验证了该体系的正确性.研究结果可为自由曲面成像光学系统的面形误差补偿及光学质量可控制造提供理论指导.
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