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对Y、Ba、Cu的DPM螯合物的制备及其挥发性能进行了研究,这3种螯合物都可用其可溶怀的盐溶液与HDPM的醇水溶液反为制备,挥发速率,随着温度的升高呈指数增大,随载气流量增大线性增加,随系统压力的增大而急剧下降。热分析和挥发性实验结果表明:Cu(DPM)2和Y(DPM)3具有较高的挥发性和热稳定性,适用于气相色谱研究和制备薄膜的源物质,但Ba(DPM)2挥发性相对较低,且不太稳定。