【摘 要】
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本文介绍一种由单片机８０Ｃ５５２构成的电感式微位移测量仪器。该仪器利用８０Ｃ５５２片内的Ａ／Ｄ转换器（１０位）实现模拟－数字转换，测量误差≤０．５μｍ。它具有测量准确度高，结构简单，稳定可靠等优点，可用于精密位移检测
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本文介绍一种由单片机８０Ｃ５５２构成的电感式微位移测量仪器。该仪器利用８０Ｃ５５２片内的Ａ／Ｄ转换器（１０位）实现模拟－数字转换，测量误差≤０．５μｍ。它具有测量准确度高，结构简单，稳定可靠等优点，可用于精密位移检测、零件尺寸分组等场合，其模拟和数字输出可以和其它控制装置组合使用，实现过程自动控制。
This article describes an inductive micro-displacement measuring instrument consisting of a single-chip 80C552. The instrument uses 80C552 chip A / D converter (10) to achieve analog - digital conversion, measurement error ≤ 0.5μm. It has the advantages of high measurement accuracy, simple structure, stable and reliable. It can be used in precision displacement detection and part size grouping. Its analog and digital outputs can be used in combination with other control devices to realize automatic process control.
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