【摘 要】
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一、概述 自80年代以来,以半导体为基础的微电子工业正在经历一场深远的根本的改变,以真空微电子学为代表的这场变革正取得十分迅猛的发展。至今,国际真空微电子学会议已召
【机 构】
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西安交通大学电子系,西安交通大学电子系
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一、概述 自80年代以来,以半导体为基础的微电子工业正在经历一场深远的根本的改变,以真空微电子学为代表的这场变革正取得十分迅猛的发展。至今,国际真空微电子学会议已召开七届,全国场致发射会议也召开了五届,愈来愈多的研究机构和学者投入到了真空微电子学的研
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