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用于光波导的高性能聚合物薄膜制备工艺研究
用于光波导的高性能聚合物薄膜制备工艺研究
来源 :激光技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wintry5
【摘 要】
:
讨论了在硅基片上旋涂用于光波导的PS聚合物薄膜时,部分工艺参数,如溶液浓度、旋涂转速、溶剂挥发性、吸水性等对薄膜质量的影响,得到了薄膜厚度随浓度和转速变化的经验公式.
【作 者】
:
韩晓星
朱大庆
宁娜
金曦
【机 构】
:
华中科技大学
【出 处】
:
激光技术
【发表日期】
:
2004年3期
【关键词】
:
光波导
薄膜
旋涂
聚合物
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讨论了在硅基片上旋涂用于光波导的PS聚合物薄膜时,部分工艺参数,如溶液浓度、旋涂转速、溶剂挥发性、吸水性等对薄膜质量的影响,得到了薄膜厚度随浓度和转速变化的经验公式.分析了造成薄膜缺陷的原因,并对薄膜的性能如薄膜厚度、红外吸收特性和表面轮廓进行了测试.
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