离子渗金属阴极表面空位浓度分布及对扩散的影响

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本文对双层辉光离子渗金属中离子轰击工件表面造成的空位进行了理论计算,指出沿工件表面向内有一空位分布区,这一空位分布区将对渗入元素原子的扩散速度起促进作用。 In this paper, we calculated the vacancies caused by ion bombardment on the surface of the workpiece by double glow ion infiltration metal, and pointed out that there is a vacancy distributing area inwardly along the surface of the workpiece. This vacancy distributing area will promote the diffusion speed of atoms infiltrated into the workpiece.
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