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以正硅酸乙酯(TEOS)为源,用溶胶-凝胶法经不同的制备条件能得到不同密度,不同结构特性的二氧化硅气凝胶,小角X光散射实验表明,用一步法,在酸性、中性或碱性条件下制备的气凝胶,均具有分形结构,而用两步法制备的气凝胶不具备分形特性,对样品加热氧化处理能组成气凝胶的胶体颗粒表面光滑化,但不改变其分形结构.