【摘 要】
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对材料中由塑性形变引起的表面及亚表面残余应力进行测定是材料科学及工程应用关注的重要问题之一.一种将扫描电子显微镜和声学技术结合而研制成的扫描电子声显微镜技术(SEAM
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对材料中由塑性形变引起的表面及亚表面残余应力进行测定是材料科学及工程应用关注的重要问题之一.一种将扫描电子显微镜和声学技术结合而研制成的扫描电子声显微镜技术(SEAM)可用于残余应力的定征,由此得到的电子声图象显示了在金属中由韦氏硬度压痕引起的残余应力的横向分布,并且利用扫描电子声显微镜独特的分层成象能力,揭示了残余应力的深度分布状况.此外,还讨论了扫描电子声技术定征残余应力的机理及实验条件对电子声信号的影响.
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