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原子层沉积技术在微纳器件中的应用研究进展

来源 :表面技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：mantisli

【作 者】

：

李惠琴  陈晓勇  王成  穆继亮  许卓  杨杰  丑修建 

【出 处】

：

表面技术

【发表日期】

：

2015年02期

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